技術資料

常壓等離子技術在電子行業(yè)上的應用有哪些

常壓等離子技術在電子行業(yè)上的應用有：
●半導體集成電路及其它微電子設備的制造
●工具、模具及工程金屬的硬化
●藥品的生物相溶性包裝材料的制備
●表面防蝕及其它薄層的沉積
●特殊陶瓷（包括超導材料）
●新的化學物質及材料的制造
●金屬的提煉
●聚合物薄膜的印刷和制備
●有害廢物的處理
●焊接
●磁記錄材料和光學波導材料
●精細加工
●照明及顯示
●電子電路及等離子體二極管開關
●等離子體化工(氫等離子體裂解煤制乙炔、等離子體煤氣化、等離子體裂解重烴、等離子體制炭黑、等離子體制電石等)
等離子體是指處于電離狀態(tài)的氣態(tài)物質，其中帶負電荷的粒子（電子、負離子）數(shù)等于帶正電荷的粒子（正離子）數(shù)。通常與物質固態(tài)、液態(tài)和氣態(tài)并列，稱為物質第四態(tài)。通過氣體放電或加熱的辦法，從外界獲得足夠能量，使氣體分子或原子中軌道所束縛的電子變?yōu)樽杂呻娮?，便可形成等離子體。
等離子體在化學工業(yè)中的真正應用是在20世紀50年代以后。聯(lián)邦德國赫斯和赫司特化工廠于50年代成功地從甲烷和其他烴類在氫等離子體中熱解制取乙炔。此后，美國、蘇聯(lián)和日本都相應地建造了等離子體制乙炔的實驗工廠。此法流程簡單，對原料適應性強，但電耗偏高，限制了它的大規(guī)模推廣。60年代，美國離子弧公司以鋯英砂為原料在直流電弧等離子體中一步裂解制備氧化鋯。70年代末，中國以硼砂和尿素為原料，在直流電弧等離子體中制備高純六方氮化硼粉，該法具有產(chǎn)品純度高、成本低、工藝流程簡單等優(yōu)點。此外，還可利用等離子技術生產(chǎn)二氧化鈦。